Y2T94 Molecular Beam Epitaxy 分子束外延

早，聊聊分子束外延，MBE的进阶版，之前写过一篇T356科普版


主要企业（品牌）：法国Riber公司、美国Veeco公司、芬兰DCA Instruments公司、美国SVTAssociates公司、美国NBM公司、德国Omicron公司、德国
MBE-Komponenten公司、英国Oxford Applied Research（OAR）公司
在超真空状态下逐层材料生长的设备，今天画个功能框图
分两大块，一个是样品控制传递，从空气里进入超真空，得一步步通过传送杆送进入，另一个是生长室，用来做外延生长。

样品控制室：传送杆不用说，是送衬底盘儿滴。 电子枪（电子源），加上衍射和AES俄歇分析，是看衬底材料的，就是一个超级好的显微镜

通过阀门，把衬底晶圆送到生长室

离子规，测量真空度

电子枪（电子源），发射、反射、看衍射信息，就晓得材料表面信息了的。也就是超级显微镜

不同材料，分子束发射

百叶窗式的阀门，控制材料流量时间

最后还有个质谱仪，也是分析材料的。Y2T72