(1)氦气的特征

	特征	优点
1	大气中含量低（5ppm）	噪音值低
2	质量数为4的离子	易于通过质谱鉴定其他气体
3	分子直径小	容易穿过小孔
4	无毒，不易燃，惰性	可安全用于各种场所，环境和产品
5	吸附能量低	进入后易于排气
6	非碳氟化合物气体	不损害地球环境

 

(2)设备结构

ANALYZER：分析管 TMP：主排气泵 FV：前级阀 FP：辅助兼粗抽泵

TV1：微小泄露用测试阀 TV2：小泄露用测试阀 TV3：大泄露用测试阀 TEST PORT：Work连接口

PG：皮拉尼真空计 CAL：校正漏孔 CLV：校正漏孔、排气阀 VV：排气阀 VENT PORT：大气压返回口

 

(3)分析管

磁偏转型质谱

① 离子生成(离子源)

・到达分析管的气体分子通过灯丝的热电子转化成正电荷离子
・在加速电压作用下，向一个方向加速移动

 

② 离子分选

1. 当带正电荷的离子通过磁场时，轨道会旋转，『左手定则』现象。
2. 此时根据每个气体的质量来区分轨道
・He（质量数4）调整到中心轨迹
・在自然大气中，质量数3非常少，并且质量数5不存在，因此质量数4非常易于识别。

 

③ 离子収集(离子收集器)

1. 只有带正电荷的He离子才能到达电极板
2. 与He离子的量相应的微弱电流

离子收集器的电流值根据真空中He的分压水平而变化。

(4)主排气真空泵

采用复合分子泵实现反扩散效应
分析管压力保持不变，测试端口可以以更高的压力连接。

 

※反扩散效应：He等一些难于排气的微小气体分子通过分子泵到达分析管

(5)校正漏孔

为了将分析管的He分压水平变换为泄漏量单位的「泄漏基准器」

薄膜型 真空法用／E-7, E-8, E-9, E-10 Pa･m3/sec台
He内置。利用玻璃透过现象。具有温度系数和老化衰减系数。

通道型 主要用于吸枪（真空法也可）／E-4, E-5, E-6 Pa･m3/sec台
He由外部供给。在真空法中，He在大气压（压差0.1 MPa）下使用。 适用于较大泄漏的结构。

(6)灵敏度校准

设备（LD）可以检测到的最小电流值表示的泄漏量称为灵敏度，数值越小，灵敏度越好。
通过测量校正漏孔来校准灵敏度。

(8)基本动作(真空法：Auto Flow)

(9)基本动作(吸枪法)

一种通过在Work内部填充和加压He来检测He泄漏到外部（大气中）的方法。

将吸枪单元连接到测试端口。
使用吸枪单元，LD测试端口保持在使TV2可以连续运行的压力。
除了通过探针尖端的孔口来控制压力的常规类型外，爱发科还具有配备吸引用泵的类型。