干泵

干泵腔内无任何润滑油，四对断面相同的转子，分别在它们各自的泵腔内固定在两个平行的轴上，用一对时限齿轮把它们连接并调整到使它们相互不接触，有一定的间隙。干泵工作时，泵腔容积不断周期性地发生变化，由大到小和由小到大，这样利用气体通道的启闭作用实现抽气作用，并且采用拼接成套的结构，细小杂质和灰尘可通过气道和气体一起排出泵外，泵的连续工作最大入口压力为5000Pa，可直排大气。

1、干式螺杆真空泵^[1]

2、无油往复真空泵

3、爪式真空泵

4、无油涡旋真空泵

1、冶金

2、真空感应熔炼(VIM)

3、真空电弧精炼(VAR)

4、精密熔模铸造(PIC)

5、钢脱气

6、覆层

7、粘辊

8、玻璃涂层

9、部件干燥

10、变压器

11、管路和电缆

12、海拔和空间模拟仓

1、提高了性能和可靠性；

2、从大气进入极限真空可保持连续运行；

3、出色的热曲线和温度控制；

4、可耐受液体和微粒；

5、不会造成工艺污染；

6、性价比高且环保；

7、功率低；

8、不产生污水；

9、干式运行机械装置；

10、设计追求可靠性和易维护；

11、可以用水或溶液清洗；

12、去除了压缩板，可以更好地处理灰尘；

13、转子设计均衡；

14、标准附件模块；

15、油经过冷却和过滤；^[1]