液氦回收

　　ATL智能液化器是目前液化效率最高的氦气液化器之一， 该液化器是采用全智能控制的氦气液化设备，使用全触控式液晶面板操控，与仪器设备、气囊气罐、液氮冷阱组成一个完整的氦气回收的闭环，是通过冷头将液氮冷阱过来的超纯氦气（>99.999%）液化，并可以存储、传输液氦，氦气回收效率可以达到99%以上，能够大大提升用户的氦气回收的灵活性，节约液氦使用成本。该智能型氦液化回收系统于2018年初通过验收，目前已经为低温强磁场扫描探针显微系统（attoCFM/AFM/MFM）和扫描隧道显微镜（STM）等设备提供稳定的液氦供应。

图1. 用于缓存氦气的气囊气罐

图2. ATL智能液化器主机
参数如下：
型号 Quantum Design ATL160
气罐体积为1m³，压力最高为0.8MPa，压机压缩氦气速度为6 m³/h；
液氮冷阱输出氦气纯度不低于99.99%，纯化速率大于30L/min；
ATL氦液化器存储容量为160L，冷头制冷功率为1.5W，液化速率 17 L/day @1.0psi，24 L/day @5.0 psi，30-35 L/day @10.0 psi。